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| 透过率分辨率： | 0.005% | 光密度测量范围： | 0.00 OD － 5.00 OD |
| 测试波长： |  红外线：850 nm | 产量： | 1000 |
一：镀膜机膜厚在线监控仪的参数
1.测试波长：根据客户需要选择，目前有如下的选择：
？ 红外线：850 nm（默认选项，抗干扰能力强）
？ 可见光：白光 380nm-760nm
？ 绿光： 530nm
2.透过率测量精度：优于±1%
3.透过率分辨率：0.005%；
4.光密度测量范围：0.00 OD － 5.00 OD
5.光密度的分辨率：
0.01 for 0.00 - 3.00 OD
0.05 for 3.00 - 5.00 OD
6.最大测量点数：32点
7.相邻探测头之间距离：最小70mm
8.发送接收探头之间距离：20mm
9.温度范围： -20°C --- +70°C
10.数据刷新周期：300ms
11.仪器整体尺寸： 100mm（宽）*230mm（高）* 长度(根据客户要求定制)
12.需真空法兰电极芯数：6根（不配电脑监控），9根（配电脑监控）
13.电源：220V AC/50Hz
14.通讯：双路RS485
二：仪器特点
1. 一体化设计，结构简单，现场安装维护方便
2. 防尘设计
对于镀膜过程中的粉尘（如镀铝过程）会影响测量光学系统，该系统采用防尘设计，粉尘不会影响光学系统内部。如有粉尘，只需要定期擦拭清洁光学系统的镜头玻璃即可，方便维护。
3. 真空室的电子设计
真空环境中，和大气环境下有众多的区别，经过多次真空试验和现场应用，成功解决真空中电子器件的稳定性问题。