小型真空镀膜机（ZD-460）

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自动化：

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产品名称：小型实验用真空镀膜机
　　
　　产品描述：小型实验用真空镀膜机是我公司结合多种真空镀膜设备开发的高真空镀膜机，主要用于科研实验、教学、打样、打板使用。可同时配置电阻蒸发、磁控、多弧、电子枪蒸发等多种镀膜工艺，或单独配置一种镀膜工艺。可在基材表面镀制金属膜、金属化合物膜、合金膜等功能性膜或装饰膜。
　　
　　设备特点：
　　实验用真空镀膜机具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、易维护的特点。可实现全自动控制或手动控制、操作简单可靠，可自动完成各种镀膜工艺参数。
　　采用电阻热蒸发方式进行镀膜、功能齐全，适应性强的特点。
　　
　　基本配置：
　　1、箱式前开门结构，不锈钢或碳钢壳体，
　　2、真空系统采用旋片泵和扩散泵系统；
　　3、配数显式真空计，全自动控制系统；
　　4、镀膜系统选择电阻蒸发系统。
　　
　　技术参数：
　　1、极限真空（新机、空载、干燥）：2x10-3PA
　　2、恢复真空抽气时间（新机、空载、干燥）：从大气抽至5×10-2PA≤5min
　　3、真空室尺寸：（真空室内径x高）Φ450550mm或Φ500550mm；
　　4、总重量：230KG
　　5、蒸发电源功率：3KW
　　6、总功率：6.5KW（单蒸发镀膜机）
　　7、整机外尺寸：（长x宽x高）10001200x1650.
　　8、循环水量：200L/H