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大型液态二氧化碳杜瓦罐抽真空系统，将若干只低温绝热钢瓶放置在烘箱内进行烘烤加热抽真空，所有钢瓶的真空口用高真空推拉阀和波纹管连接，机组采用双极旋片泵预抽，罗茨泵加速，用扩散泵或者分子泵精抽，整个抽真空工艺2-3天完成，真空泵的测量规管和机组由业主自由选配，最终主管路极限真空度优于：7×10-5Pa。 杜瓦罐抽真空简要配置表 一、双级旋片式真空泵 每秒抽气速率30升（70升） 极限真空为6×10-2Pa 30升的功率为3KW（70升功率5.5KW） 二、电磁真空带充气阀 三、罗茨真空泵 极限真空为5×10-2Pa 速率每秒150升的功率为3KW 速率每秒300升的功率为5.5KW。 四、扩散真空泵 扩散泵的极限真空是7×10-5Pa 口径150mm的功率是1.5KW。 五、电阻规 电阻规为测量低真空的测量探头 六、电离规 电离规为测量高真空的测量探头 七、杜瓦罐烘箱 自动温控0~400度可调 复合数显真空仪表 烘箱功率6KW