低温真空泵

1.概述
　　低温真空泵（又称低温泵、冷泵、冷凝泵）是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程，是集成电路专用设备中的关键设备之一；低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。
　　安徽万瑞冷电科技有限公司从事低温真空产品的研发生产已有30多年历史（原来在中国电子科技集团公司第16研究所），覆盖制冷机和低温泵的质量体系通过ISO9001质量管理体系认证。CP系列低温泵已在国内多家半导体和IC生产厂家使用，在微电子工业、高能物理装置、空间模拟装置及其它工业产品的生产方面发挥了重要的作用。
　　
2.CP系列低温泵特点
　　（1）真正的无油真空泵：利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空，清洁无污染；
　　（2）抽速大：特别是对H2O、H2等气体抽速很大，因而排气速度比其他真空泵快，大大提高产品产出量；
　　（3）运行费用低：运行时只需电力和冷却水，不需液氮等低温液体，操作简单方便；
　　（4）适应性强：真空腔内无运动部件，来自外界的干扰或来自真空系统的微粒不影响低温泵工作；
　　（5）可以安装在任何方位；
　　（6）运动部件少且低速运行，寿命长；
　　（6）所有型号的低温泵都可以达到10－7Pa的极限真空度，部分特殊品种的极限真空度可达10－9Pa.
　　
3.CP系列低温泵的应用领域
　　低温真空泵适合应用于希望获得10－1Pa至10－9Pa真空度的场合，尤其适合应用于要求洁净无油和/或快速抽气的场合，例如：
　　溅射镀膜
　　蒸发镀膜
　　离子注入
　　分子束外延
　　使用以上设备的工业真空镀膜，例如：半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜
　　电子束设备
　　空间模拟装置
　　高能物理研究装置
　　加速器束流管
　　表面分析装置
　　质谱仪
　　真空排气装置
　　其它高真空或超高真空装置
　　
4.技术指标