抽气机理: | 变容真空泵 |
FF-250/1600列分子泵技术参数表
型号 FF-250/1600
FF-250/1600
抽气速率(l/s)1600
1600
压缩比 N2:108;H2:5×103
极限压强(PA)≤1×10-6
额定转速(rpm)27000
启动时间(min)<8
轴承陶瓷轴承
排气口法兰 KF50(DN50 ISO-KF)
进气口法兰 LF250(DN250 ISO-K)
振动值((mm))≤0.1
建议前级泵(l/s)15
冷却水温度(℃)≤25
泵体烘烤温度(℃)≤100
环境温度(℃)5-40
充油量(ml)150
安装方式竖直±5°
重量(kg)47