抽气机理: | 捕集真空泵 | 结构: | 往复式真空泵 |
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KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并在极高难度的制程发挥上获得了客户的高度信赖与评价。除了干式真空泵以外,鲁式及排气组合式真空泵设备在广泛的领域当中发挥它的威力。
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