干式真空泵（PS系列）

抽气机理：

变容真空泵

结构：

回转式真空泵

汉钟PS系列螺杆真空泵特点：
　　排气路径短，减少反应物沉积
　　线形密封性佳，泵浦性能最优
　　结构简单，故障率低，维修容易
　　电机水冷设计，通过防爆认证，安全百分百
　　微电脑操作，远端临控，保护周全
　　
　　抽气速率：500~1800m3/h
　　极限真空：≤0.1Pa
　　
　　应用领域：半导体，光电，LED，TFT，制药，化工，太阳能，真空镀膜，热处理等。