用途: | 工业用 | 运转速度: | 高速 |
种类: | YVP系列变频调速电动机 | 定子相数: | 两相 |
转子结构: | 绕线式 | 机壳不同的保护方式: | 封闭式 |
产量: | 1000 |
ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um