Aerotech ABL2000 气浮平台

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最后更新: 2015-05-06 08:57
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  • 详细说明
  • 规格参数
  • 联系方式
用途: 工业用 运转速度: 高速
种类: YVP系列变频调速电动机 定子相数: 两相
转子结构: 绕线式 机壳不同的保护方式: 封闭式
产量: 1000

ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

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